功率超聲振動加工時油石的白礪性增強和其氣孔堵塞性的減輕乃至消除，既可以提高加工效率，又可以提高加工零件的形狀精度，而且可采用細磨粒的磨具來作為粗磨粒的磨具進行切削，這樣可以在保證加工效率的前提下，提高加工零件的表面輪廓均勻性、降低表面粗糙度。

　　因此，功率超聲振動珩磨機磨具有以下特點:

　　(1)功率超聲振動加工使磨粒變得鋒利，有利于提高切削效率。

　　(2)功率超聲振動加工使切削深度增加，提高切削效率。若保證切削深度不變，則可降低磨具上的壓力，減少珩磨力及工藝系統的變形等。

　　(3)功率超聲珩磨時，由于高頻振動提高了實際的切削速度，并以動態沖擊力作用于切屑，從而可以獲得大的波前剪應力，有助于塑性金屬趨于脆性狀態，

　　減小了塑性變形，有利于切削。

　　(4)功率超聲振動加工的油石具有強的自礪性和弱的氣孔堵塞性，可提高生產效率、降低加工零件的表面形狀誤差。